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凈化知識(shí)

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上海電子半導(dǎo)體凈化無塵車間裝修空調(diào)安裝的經(jīng)驗(yàn)介紹_磊建凈化

發(fā)布者:磊建凈化

發(fā)布時(shí)間:2021-12-24

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  無塵車間空調(diào)系統(tǒng)首先是一空調(diào)系統(tǒng), 因此, 一般空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施, 如圍護(hù)結(jié)構(gòu)保溫、 系統(tǒng)變流量、 排風(fēng)熱回收、 選用高教制冷機(jī), 水泵風(fēng)機(jī)設(shè)備等,都可以適用于凈化無塵車間裝修空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能設(shè)計(jì)和改造。 同時(shí), 無塵車間空調(diào)系統(tǒng)有自己的特點(diǎn), 也就有自 己的系統(tǒng)節(jié)能特點(diǎn)和方式。


上海電子半導(dǎo)體凈化無塵車間裝修空調(diào)安裝的經(jīng)驗(yàn)介紹_磊建凈化


  空氣調(diào)節(jié)是一種使房間或封閉空間的溫度、相對(duì)濕度、潔凈度和氣流速度等參數(shù)均達(dá)到給定要求的技術(shù)。也就是說,在人們的生活、工作以及生產(chǎn)和科研的某一個(gè)特定空間內(nèi),其環(huán)境空氣的溫度、濕度、潔凈度和氣流速度等構(gòu)成了該空間的空氣環(huán)境。采取必要的技術(shù)手段來創(chuàng)造和保持該空間內(nèi)要求的空氣環(huán)境就是空氣調(diào)節(jié)的任務(wù)。潔凈空調(diào)是空調(diào)工程中的一種,它不僅對(duì)室內(nèi)空氣的溫?度、濕度和風(fēng)速有一定的要求,還對(duì)空氣中的含塵粒數(shù)、細(xì)菌濃度等也都有較高的要求,為此,相應(yīng)的技術(shù)稱為“空氣潔凈技術(shù)”。根據(jù)需要對(duì)空氣溫度、濕度、潔凈度、壓力、噪聲等參數(shù)都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間稱為“無塵車間”。為了使無塵車間內(nèi)保持所需要的溫度、濕度、風(fēng)速、壓力和潔凈度等參數(shù),最常用的方法是向室內(nèi)不斷送人一定量經(jīng)過處理的空氣,以消除無塵車間內(nèi)各種熱濕干擾及塵埃污染。為了給無塵車間送人一定狀態(tài)的空氣,就需要一整套設(shè)備對(duì)空氣進(jìn)行處理,并不斷送人室內(nèi),又不斷從室內(nèi)排出一部分來,這一整套設(shè)備就構(gòu)成了潔凈空調(diào)系統(tǒng)。


  潔凈風(fēng)量與空調(diào)風(fēng)量分開


  無塵車間進(jìn)風(fēng)的功能, 一是空調(diào)(空氣進(jìn)行溫、 濕處理, 滿足無塵車間的溫、 濕度要求); 二是凈化(空氣過濾滿足無塵車間的潔凈度要求)。 一般情況下凈化風(fēng)量大大超過空調(diào)風(fēng)量。 如果讓空調(diào)進(jìn)風(fēng)同時(shí)起到空調(diào)和凈化的作用, 即空調(diào)風(fēng)量和凈化風(fēng)量不分開, 所有的回風(fēng)都要經(jīng)過空調(diào)箱集中處理。 此非常大風(fēng)量經(jīng)過空氣處理設(shè)備時(shí), 阻力會(huì)很大, 風(fēng)機(jī)耗能急劇增大。 同時(shí), 為了除濕, 所有回風(fēng)都要處理到露點(diǎn)狀態(tài), 后為了不使室內(nèi)溫度過低, 還需對(duì)進(jìn)風(fēng)進(jìn)行再熱。 冷熱抵消,造成不必要的浪費(fèi)。 而如果把空調(diào)和凈化兩部分風(fēng)量分開處理, 凈化風(fēng)量就可進(jìn)行過濾處理, 可大大縮短凈化風(fēng)量輸送管道長(zhǎng)度; 而對(duì)于空調(diào)風(fēng)量, 自于風(fēng)量變小, 可以節(jié)省空氣冷熱處理, 并且同時(shí)可以減小輸送斷面和輸送耗能。


  1、電子廠房無塵車間的特點(diǎn)


  電子行業(yè)無塵車間空調(diào)除了具有較高的凈化空氣的能力外,還具有以下幾點(diǎn)與舒適性空調(diào)明顯不同的地方。


  1.1氣流分布需要很均勻

  為維持無塵車間室內(nèi)的高潔凈度,必須帶走室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子,因此對(duì)氣流組織有嚴(yán)格的要求。對(duì)于1-1000級(jí)的無塵車間,目前采用上頂棚送風(fēng)、下地板回風(fēng)的垂直單向流氣流組織形式;對(duì)于10000-100000級(jí)的無塵車間,常采用上頂棚送風(fēng)、下側(cè)回風(fēng)日回風(fēng)的非單向流形式。

  1.2恒溫恒濕控制精度高

  由于電子產(chǎn)品的制造工藝對(duì)溫濕度變化極為敏感,所以必須將無塵車間里的空氣參數(shù)嚴(yán)格控制在要求的范圍內(nèi)。目前,潔凈空調(diào)系統(tǒng)普遍采用控制靈活、性能可靠的DDC自控系統(tǒng),當(dāng)室內(nèi)空氣參數(shù)達(dá)不到設(shè)計(jì)要求時(shí),可通過DDC控制系統(tǒng)來自動(dòng)調(diào)節(jié)各個(gè)閥門開大或關(guān)小,這樣就不至于使房間?內(nèi)溫濕度波動(dòng)太大,影響產(chǎn)品質(zhì)量和成品率。

  1.3新風(fēng)量大,換氣次數(shù)高

  在電子產(chǎn)品制造過程中需使用有毒的化學(xué)品,將產(chǎn)生有毒的廢氣,必須排出室外。為保持無塵車間內(nèi)正壓和滿足衛(wèi)生條件,必須補(bǔ)充大量新風(fēng)。為了保持高潔凈度,無塵車間應(yīng)有較高的換氣次數(shù),同時(shí)室內(nèi)的空氣流速也不能太大,一般在0.4?m/s以下。

  1.4冷負(fù)荷大且濕負(fù)荷小,熱濕比值接近+∞

  電子行業(yè)的無塵車間一般都置于建筑物的中部,雖然通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)的熱量較少,但無塵車間內(nèi)工藝設(shè)備的發(fā)熱量相當(dāng)大,即全年需要排出室內(nèi)余熱量。

  

     2、工程概述

  

  本工程位于安徽蚌埠黃山大道北側(cè),廠房為單層鋼結(jié)構(gòu),總建筑面積約14?500?m2?凈化空調(diào)面積6?880?m2(不含參觀走廊及輔助區(qū))。根據(jù)工藝要求,潔凈區(qū)潔凈度分別為萬級(jí)、千級(jí)、百級(jí),百級(jí)面積270?m2,千級(jí)面積?5?960?m2,萬級(jí)面積650?m2溫濕度要求為22士2?度和55%士5%,百級(jí)按照?面風(fēng)速0.25m/s計(jì)算風(fēng)量,千級(jí)和萬級(jí)的換氣次數(shù)則為80次/h和35次/h。


  3、凈化空調(diào)系統(tǒng)形式

 

  3.1空調(diào)形式選擇

  整個(gè)廠房分為3種凈化級(jí)別,分別為萬級(jí)、千級(jí)、百級(jí),萬級(jí)區(qū)主要為鍍膜機(jī)室,千級(jí)區(qū)有絲印車間、模組/貼膜車間、千級(jí)高架區(qū)、千級(jí)未高架區(qū),百級(jí)有鍍膜車間、絲網(wǎng)制作房。其中,千級(jí)高架區(qū)、百級(jí)高架區(qū)、千級(jí)未高架區(qū)、百級(jí)未高架區(qū)均采用MAU?+?FFU?+?DC的空調(diào)形式,而絲印、模組、貼膜車間等千級(jí)區(qū)和鍍膜機(jī)室等萬級(jí)區(qū)則采用AHU+?FFU的空調(diào)形式。MAj為新風(fēng)機(jī)組,對(duì)新風(fēng)實(shí)施了初效、中效、亞高效過濾,其功能段為新風(fēng)、回風(fēng)混合段、G4初效段、F8中效段、冷水盤管段、熱水盤管段、電極加濕段、風(fēng)機(jī)段、均流段、H10亞高效段、送風(fēng)段。DC為干表冷盤管,在無塵車間的回風(fēng)夾墻中設(shè)置干冷盤管,對(duì)無塵車間進(jìn)行等濕降溫,所以通過干盤管的冷凍水溫度稍低于無塵車間的露點(diǎn)溫度,保證無塵車間空氣通過干盤管時(shí)不結(jié)露。FFU為風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組,在無塵車間的技術(shù)夾層布置?FFU?,將送進(jìn)來的空氣通過FFU中的高效過濾器送到無塵車間內(nèi)。AHU為凈化空調(diào)機(jī)組,全部的凈化空調(diào)送風(fēng)均在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)進(jìn)行凈化和熱、濕處理,然后送至無塵車間,無塵車間的回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)日、回風(fēng)管再接回到空調(diào)機(jī)房的凈化空調(diào)機(jī)組,與新風(fēng)混合后重復(fù)進(jìn)行凈化和熱、濕處理。

  3.2兩種空調(diào)形式的空氣處理過程

  3.2.1、MAU+FFU+DC的凈化空調(diào)送風(fēng)方案

  新風(fēng)機(jī)組MAU將新風(fēng)處理到無塵車間熱濕比線與相對(duì)濕度95%線的交點(diǎn)以下,不僅將本身的濕負(fù)荷去掉,還負(fù)擔(dān)無塵車間內(nèi)產(chǎn)生的濕負(fù)荷。而MAj熱處理不足部分的干冷負(fù)荷將由設(shè)在無塵車間下夾層或吊頂上的干盤管來補(bǔ)充。由于干盤管設(shè)在FFU循環(huán)空氣通過的吊頂上或夾道內(nèi),因此,干盤管所彌補(bǔ)的干冷負(fù)荷被循環(huán)空氣帶到無塵車間內(nèi)。此方案中,無塵車間的相對(duì)濕度由MAU來保證,無塵車間的溫度由DC來保證,無塵車間的潔凈度由FFU來保證。

  3.2.2、AHU+FFU的凈化空調(diào)送風(fēng)方案

  此方案中,凈化空調(diào)系統(tǒng)的熱、濕負(fù)荷(無塵車間內(nèi)產(chǎn)生的熱、濕負(fù)荷及新風(fēng)的熱、濕負(fù)荷)全部由設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)的空調(diào)機(jī)組AHU來負(fù)擔(dān)。AHU的送風(fēng)量是消除本系統(tǒng)余熱、余濕的空調(diào)送風(fēng)量(其中包括全部新風(fēng)和部分回風(fēng),但遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于保證無塵車間潔凈度等級(jí)的凈化送風(fēng)量),它應(yīng)能確保無塵車間內(nèi)的溫度和相對(duì)濕度恒定。而該無塵車間的潔凈度由設(shè)在無塵車間裝修吊頂上的FFU來保證。此方案中應(yīng)該注意的是,F(xiàn)FU運(yùn)行過程中所產(chǎn)生的熱量也應(yīng)由AHU來承擔(dān)。


無塵車間裝修空調(diào)安裝的經(jīng)驗(yàn)介紹_磊建凈化


  4、空調(diào)冷熱源

 

  此次工程為一期工程,根據(jù)負(fù)荷計(jì)算及二期預(yù)留,冷源主機(jī)采用3臺(tái)制冷量為1800?kW、供回水溫度為7/12℃的水冷螺桿式冷水機(jī)組,用于空調(diào)機(jī)組的夏季制冷及作為干盤管供回水系統(tǒng)中板式換熱器的冷源換熱端。熱源主機(jī)為一臺(tái)制熱量為2400kW的空氣源熱泵機(jī)組,為空調(diào)機(jī)組夏季再?熱和冬季加熱所用。要求進(jìn)人干盤管冷水的進(jìn)水溫度高于無塵車間露點(diǎn)溫度1-2℃,確保其供回水溫度為14/19℃,因此需要采用水一水板式換熱器設(shè)計(jì)干盤管供回水系統(tǒng)。在熱交換器冷源端的冷凍水供回水管道上安裝電動(dòng)二通閥,通過DDC的控制,保證干盤管的供回水溫度恒定在設(shè)計(jì)的范圍內(nèi)。干盤管的冷供水系統(tǒng)采用異程式的方式,無塵車間內(nèi)回風(fēng)墻中布置有111臺(tái)干盤管,共分為巧組,每一組設(shè)置一個(gè)電動(dòng)比例積分閥,根據(jù)所對(duì)應(yīng)的范圍反饋的無塵車間溫度來調(diào)整比例積分閥的開啟度,從而使溫度控制滿足設(shè)計(jì)要求。


  5、自動(dòng)控制系統(tǒng)

  

  本期工程采用DDC控制系統(tǒng),并且與機(jī)房總站連接,可以實(shí)現(xiàn)局部調(diào)控和機(jī)房總站對(duì)運(yùn)行狀態(tài)的控制和觀測(cè)。無塵車間中的干冷盤管共分為巧組,每一組采用一個(gè)比例積分閥控制,每組所對(duì)應(yīng)的區(qū)域溫度采用多點(diǎn)檢測(cè),采集多點(diǎn)的溫度,取平均PID值控制比例積分的開啟度,調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度。濕度也采用多點(diǎn)檢測(cè)控制,采集多點(diǎn)的濕度,取平均的PID值來控制新風(fēng)機(jī)組或空調(diào)機(jī)組冷凍水電動(dòng)比例積分閥的開啟度,或者控制電極加濕閥門的開啟度,從而將無塵車間的濕度控制在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)。

  新風(fēng)機(jī)組和空調(diào)機(jī)組采用變頻控制,根據(jù)無塵車間實(shí)際使用情況,通過電動(dòng)風(fēng)閥的開與關(guān),檢測(cè)風(fēng)管內(nèi)的壓力參數(shù),控制風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速,調(diào)整新風(fēng)量,達(dá)到節(jié)約能源的目的。


  6、總結(jié)

  

  隨著潔凈技術(shù)和潔凈設(shè)備的不斷發(fā)展與進(jìn)步,F(xiàn)FU風(fēng)機(jī)的效率不斷提高,耗電量不斷降低,整體價(jià)格不斷下降,其初投資也與其他類型的送風(fēng)方案基本持平,但運(yùn)行費(fèi)卻大大節(jié)省。大面積高凈化級(jí)別的無塵車間宜采用FFU+DC+MAU的空調(diào)形式,可以節(jié)省空調(diào)機(jī)房面積,系統(tǒng)控制靈活。末端為FFU的空調(diào)系統(tǒng)中新風(fēng)機(jī)組或空調(diào)機(jī)組的空氣過濾宜采用三級(jí)過濾,分為初效、中效、亞高效過濾,以延長(zhǎng)FFU中高效過濾器的使用壽命。盡量采用將新風(fēng)處理到室內(nèi)露點(diǎn)溫度的空氣處理方式,減少因?qū)κ覂?nèi)進(jìn)行溫度補(bǔ)償而造成的能源浪費(fèi)。


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